热发射光谱在环境监测、天体物理、医学诊断和药物研发等领域得到广泛关注和利用。基于微机电系统的红外光源虽然有效缩小了器件体积，但仍存在光谱分布范围广、发射率较低等缺点，通过对微纳结构的合理利用，可以控制热发射的光谱特性，有效提高窄带发射性能。 据麦姆斯咨询报道，近期，电子科技大学长三角研究院和光电科学与工程学院的科研团队在《激光与光电子学进展》期刊上发表了以“基于微纳结构的MEMS红外窄带热光源及其应用”为主题的文章。该文章第一作者为李若禺，通讯作者为郭小伟。 本文对MEMS热辐射红外光源技术原