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基美电子(“KEMET”或“公司”),继续以其环境PIR传感器系列为工业应用加强提供解决方案。这些薄膜PZT传感器通过利用热释电效应,获得高灵敏度和快速响应时间,可针对工业自动化、照明和发配电等多种应用,确保对气体、火焰、运动、食品和有机化合物实现快速、准确的检测。 这些高质量的环境传感器采用混合微机电系统(MEMS)技术构建,并封装在小型表贴器件(SMD)之中,可满足便携式和电池供电式探测器的应用要求。它们具有低功耗、低维护,以及对机械和热冲击不敏感的优势,可实现稳定的性能,并且使用寿命长达
热式气体流量传感器简介 热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器,利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。 流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成,热偶堆对称分布在加热电阻的上、下游,加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。 加热电阻对热偶堆的热结进行加热,热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压。当流体静止时,加热电阻两侧对称位置的温度是相同的;当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜,加热电阻两侧对称位置的温度不再相同,温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定 。 由于流
热式质量流量传感器是利用气体流经加热元器件时,从加热元器件表面带走部分热量,根据气体流量与换热量之间的关系进行测量。利用此传感器做成的流量计具有结构简单、压损小、量程范围宽、过载无损害等优点。 产品原理 基于热交换原理的MEMS质量流量传感器:结构由位于由位于敏感薄膜上的微热源、与微热源对称的上游温度传感器和下游温度传感器以及位于硅基上的环境温度传感器组成。 1. 当传感器表面没有气流时,微热源周围的温度场呈对称分布,见上左图; 2. 当传感器表面有气体流动时,气体对微热源有冷却效应,将从微热
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